媒体报道，日本半导体材料制造商近日JSR宣布，它已签署协议将以5.14亿美元(约合人民币24.46亿元)收购美国半导体材料厂商Inpria Corp.（以下简称Inpria）。目前JSR持有Inpria 21%的股份。通过这笔交易，JSR将收购Inpria的剩余股份，从而使得Inpria成为JSR的全资子公司。据报道，这笔交易预计将于2021年10月底完成。

       日本合成橡胶公司（JSR）成立于1957年，总部位于日本东京，是一家以研究为导向的跨国公司，专注于数字解决方案，包括半导体和生命科学市场。JSR主要聚焦四大主业：合成橡胶（收入占比38%）、数码解决方案（31%）、塑料（20%）与生命科学（11%），其中数码解决方案涵盖光刻材料、化学机械抛光CMP材料等。

       Inpria成立于2007年，一直致力于开发基于金属的EUV光刻胶，金属基光刻胶在干蚀刻过程中的图案转移性能方面优于传统光刻胶，非常适合半导体量产工艺。随着此次收购的完成，JSR将把Inpria的金属基光刻胶添加到JSR的光刻胶产品组合中，进一步提升光刻胶市场份额。

       EUV也就是极紫外光刻胶，使用波长为13.5nm的紫外光，可以用于10nm以下的先进制程，但目前EUV光刻机只有荷兰ASML能制造。目前成熟的光刻技术是193nm浸没式光刻工艺，经多重曝光后其能够实现的特征尺寸已经可以达到30nm以下。但随着摩尔定律的不断推进，该工艺已很难满足22nm节点以下的光刻需求，与之配套的EUV光刻胶逐渐成为下一代光刻胶的研发重点。虽然EUV制程能够进一步减小芯片尺寸，提升器件性能，但是其前期巨大的资本和人力投入也让大部分厂商望而却步。EUV技术能够有效延长摩尔定律寿命，但是要想进一步释放下一代计算机潜能仍需找到颠覆性的材料和器件。